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破解MEMS標(biāo)準(zhǔn)化難題 加快封裝技術(shù)規(guī)范進程

　　標(biāo)準(zhǔn)化是所有行業(yè)都會面臨與需要的現(xiàn)實問題，不管哪一個產(chǎn)業(yè)即使在初期發(fā)展非常之好，但只要沒有統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)，最終都會受到制約，終會走向制定統(tǒng)一行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的道路?，F(xiàn)在MEMS行業(yè)就在不斷推動產(chǎn)業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化進程。
　　MEMS技術(shù)是一門相當(dāng)?shù)湫偷亩鄬W(xué)科交叉滲透、綜合性強、時尚前沿的研發(fā)領(lǐng)域，幾乎涉及到所有自然及工程學(xué)科內(nèi)容，以單晶硅Si、Si02、SiN、SOI等為主要材料。在制造復(fù)雜的器件結(jié)構(gòu)時，現(xiàn)多采用的各種成熟的表面微bD工技術(shù)以及體微機械加工技術(shù)，正向以LIGA(即深度x射線刻蝕、微電鑄成型、塑料鑄模等三個環(huán)節(jié)的德文縮寫)技術(shù)、微粉末澆鑄、即刻掩膜EFAB為代表的三維加工拓展。
　　隨著智慧型手機或其他消費性電子裝置大舉導(dǎo)入微機電系統(tǒng)(MEMS)感測器，MEMS封裝產(chǎn)值已顯著增長，在未來幾年內(nèi)市場規(guī)模將達到整體IC產(chǎn)業(yè)的5%，比重大幅攀升。由于大量消費應(yīng)用的快速成長和逐漸集中在某些裝置，將導(dǎo)致MEMS封裝技術(shù)成為市場決勝關(guān)鍵，相關(guān)業(yè)者必須投入發(fā)展標(biāo)準(zhǔn)封裝方案，方能持續(xù)壓低元件尺寸及量產(chǎn)成本。
　　MEMS的發(fā)展目標(biāo)在于通過微型化、集成化來探索新原理、新功能的元器件與系統(tǒng)，開辟一個新技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)，其封裝就是確保這一目標(biāo)的實現(xiàn)，起著舉足輕重的作用。幾乎每次國際性MEMS會議都會對其封裝技術(shù)進行熱烈討論，多元化研發(fā)另辟蹊徑。各種改進后的MEMS封裝不斷涌現(xiàn)，其中較有代表性的思路是涉及物理、化學(xué)、生物、微機械、微電子的集成微傳感器及其陣列芯片系統(tǒng)，在實現(xiàn)MEMS片上系統(tǒng)后，再進行封裝;另一種是將處理電路做成專用芯片，并與MEMS組裝在同一基板上，最后進行多芯片組件MCM封裝、系統(tǒng)級封裝SIP。在商用MEMS產(chǎn)品中，封裝是最終確定其體積、可靠性、成本的關(guān)鍵技術(shù)，期待值極高。
　　MEMS封裝技術(shù)正迅速朝標(biāo)準(zhǔn)化邁進。為滿足行動裝置、消費性電子對成本的要求，MEMS元件業(yè)者已開始舍棄過往客制化的封裝設(shè)計方式，積極與晶圓廠、封裝廠和基板供應(yīng)商合作，發(fā)展標(biāo)準(zhǔn)封裝技術(shù)與方案，讓MEMS元件封裝的垂直分工生態(tài)系統(tǒng)更趨成熟。