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應(yīng)用材料公司攜手MEMS制造商開創(chuàng)感知“芯”世界

　　MEMS最早應(yīng)用于汽車和打印機(jī)，如今越來越多的消費(fèi)電子產(chǎn)品采用MEMS傳感器以實(shí)現(xiàn)各種智能功能，但同時(shí)也對(duì)MEMS傳感器提出更高要求：更好的性能、更小的尺寸、更低的成本。由于MEMS產(chǎn)業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)化尚未落實(shí)，仍然存在“OneProduct,OneProcess”的MEMS定律，這給半導(dǎo)體設(shè)備制造商既帶來了巨大的技術(shù)挑戰(zhàn)，又創(chuàng)造了新的市場(chǎng)商機(jī)，并推動(dòng)MEMS工藝不斷革新。　 目前，MEMS制造商通過增加產(chǎn)能、采用更大尺寸的晶圓，以及與設(shè)計(jì)公司合作研發(fā)更小的芯片來降低生產(chǎn)成本。應(yīng)用材料公司完全了解MEMS傳感器的設(shè)計(jì)與制造，并采用業(yè)界領(lǐng)先的工藝技術(shù)生產(chǎn)MEMS設(shè)備，包括深反應(yīng)離子刻蝕、物理和化學(xué)氣相沉積、外延淀積、釋放腐蝕、化學(xué)機(jī)械研磨等設(shè)備。此外，通過與世界領(lǐng)先的科研機(jī)構(gòu)合作，應(yīng)用材料正努力研發(fā)下一代大批量、低成本的MEMS制造工藝。
　　MEMS產(chǎn)業(yè)在中國(guó)如火如荼地發(fā)展，眾多IC代工廠和地方政府謀劃布局，新建MEMS生產(chǎn)線。這是應(yīng)用材料如此貼身中國(guó)市場(chǎng)的原因，這里有龐大的客戶群。應(yīng)用材料擁有遍布全球的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)和支持架構(gòu)，其深厚的技術(shù)專長(zhǎng)和最佳的解決方案可持續(xù)滿足MEMS制造商的產(chǎn)能需求。調(diào)節(jié)設(shè)備參數(shù)、優(yōu)化工藝的效果可以直接在我們位于西安的全球開發(fā)中心最尖端的設(shè)備上看到成效。此外，MEMS制造商不僅需要可靠的設(shè)備性能，還要確保運(yùn)營(yíng)成本獲得改善。應(yīng)用材料公司提供的解決方案，可提高設(shè)備的正常運(yùn)行時(shí)間和工廠效率，可讓制造商專注于芯片制造，同時(shí)降低每片晶圓的制造成本。”據(jù)中國(guó)微納技術(shù)俱樂部調(diào)研，中國(guó)涉及MEMS的代工廠主要有：中芯國(guó)際、上海先進(jìn)、華虹-宏力、華潤(rùn)上華，此外還有蘇州、淄博、上海等地方政府正在搭建MEMS中試平臺(tái)。
　　過去三十年信息技術(shù)經(jīng)歷了計(jì)算時(shí)代、通訊時(shí)代，當(dāng)前正步入“感知”時(shí)代，傳感器市場(chǎng)呈現(xiàn)爆發(fā)式增長(zhǎng)。應(yīng)用材料公司正努力擴(kuò)大MEMS設(shè)備的產(chǎn)品組合，并提供一套完整的MEMS解決方案（包括MEMS封裝技術(shù)，如硅通孔和晶圓級(jí)鍵合），以支持各種MEMS傳感器芯片的關(guān)鍵工藝研發(fā)，攜手MEMS制造商開創(chuàng)感知“芯”世界。